かぶしきがいしゃふじつうけんきゅうじょとこくりつだいがくほうじんとうきょうこうぎょうだいがくは、じせだいFeRAM(エフイーラム)むけのあたらしいメモリざいりょうをかいはつしたとはっぴょうした。
このしんざいりょうは、じせだいFeRAMのざいりょうとしてきたいされているビスマスフェライトのせいぶんのいちぶをおきかえたもの。こんかい、このざいりょうをもちいることで、1,000おくかいのくりかえしかきかえおよびリークでんりゅうのていげんにせいこうした。
しんざいりょうは、180nmせだいのせいひんでさいようされているものとおなじこうぞうのままで、90nmせだいいこうのFeRAMにてきようすることができ、だいようりょうFeRAMのじつようかをかのうにする。
こんかい、ビスマスフェライトのせいぶんのいちぶをおきかえたゾルゲルようえきをもちいて、ビスマスフェライトをけっしょうかするゾルゲルほうとよばれるぎじゅつを2しゅるいかいはつ。
ひとつは、ビスマスせいぶんのいちぶをサマリウムでおきかえることで、かきかえによるれっかをおさえるぎじゅつ。てつせいぶんのやくはんぶんをクロムにおきかえたゾルゲルようえきをもちいて、ビスマスフェライトをけっしょうかし、リークでんりゅうをていげんする。
また、ビスマスせいぶんのいちぶをサマリウムへおきかえたメモリざいりょうは、かきかえによるれっかがおおはばにかいぜんし、PZTでのかきかえかいすうのげんかいをこす、1,000おくかいまでどうさすることをかくにんした。
どうしゃは「せいかにより、ビスマスフェライトはPZTにかわるFeRAMのメモリざいりょうとしてゆうこうであり、さらに90nmせだいから65nmせだいにおいても、げんこうの180nmせだいのせいひんでりようされているものとおなじこうぞうでじつようかすることがかのうとなり、だいようりょうかのみとおしをえることができた」としている。
■かんれんきじ
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